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陶瓷基片是一種常用的電子封裝基片材料,和塑 封料和金屬基片相比,其優勢在於以下幾個方面:
1) 絕緣性能好,可靠性高。高電阻率是電子元件對基片 的基本要求,一般而言,基片電阻越大,封裝可靠 性越高,陶瓷材料一般都是共價鍵型化合物,其絕緣 性能較好。
2) 介電係數較小,高頻特性好。陶瓷材料 的介電常數和介電損耗較低,可以減少信號延遲時間, 提高傳輸速度。
3) 熱膨脹係數小,熱失配率低。共價 鍵型化⌘合物一般都具有高熔點特性,熔點越高,熱膨 脹係數越小,故陶瓷材料的熱膨脹係數一般較小。
4) 熱導率高。根據傳⌘統的傳熱理論,立方晶系的BeO、 SiC 和AlN 等陶瓷材料,其理論熱導率不亞於金屬的。
因此,陶瓷基片材料被廣泛應用於航空、航天和軍事 工程的高可靠、高頻、耐高溫、強氣密性的產品封裝。 陶瓷基⌘片材料的封裝一般為多層陶瓷基片封裝, 該技術源於1961 年PARK 發明的流延工藝,後來被 廣泛地用於混合集成電路(HIC)和多晶片模件(MCM) 陶瓷封裝。
從20 世紀60 年代至今,美國、日本等 相繼推⌘出疊片多層陶瓷基片封裝材料和工 藝,陶瓷基片已經成為世界上廣泛應用的幾種高技術 陶瓷之一。目前,研究應用成熟的陶瓷基片 材料是Al2O3 基片,它具有⌘良好的電氣性能和力學性 能。除了Al2O3 之外,還有A1N、BeO、Si3N4 和SiC 等。
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